Shanghai TOHO Technology Co., Ltd.
小型Scrub清洗装置
产品概要
各种晶圆（蓝宝石/SiC等）的研磨・磨削后的清洗
小型面板的各种清洗
产品特征
可对应面板的最大尺寸为300mm×长300mm
可对应晶圆的最大尺寸为φ200mm
可根据用途选择清洗工具，实现优良的清洗性能
防止2次污染的搬送构造以及风刀
可对应高处理量的系统设计
可通过抑制纯水，气的使用量减少运行成本
产品外观，构成
