MASK掩膜板关联设备
更新时间：2020-07-26 12:07:44点击次数：1180次字号：T|T
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主要用于存放光罩盒
产品特征
不同世代光罩盒对应
不同厂家光罩盒对应
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光罩盒-Mask Case
用于存放光罩的料盒
产品特征
不同世代产品对应
不同曝光设备对应如canon hitachi nikon等
结构紧凑、形变量小
外观美观
光罩柜-Stocker
主要用于存放光罩盒
产品特征
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光罩盒搬送台车-MGV
主要用于光罩盒的上料下料搬送等工艺
产品特征
不同世代光罩盒对应
不同厂家光罩盒对应
手动、半自动模式对应
半自动模式完善的互锁安全机能
