MASK掩膜板关联设备

蒸镀金属掩膜板卡匣
产品特征
用于OLED工艺存放蒸镀金属掩膜板的卡匣
产品特征
不同世代产品对应
不同蒸镀设备对应
防积水结构设计，提高清洗工艺段干燥效率
标新的表面处理，降低金属研磨板存储搬送堆放过程产生particle的可能
精密的加工及组装精度，先进的测量工具。

光罩盒-Mask Case
用于存放光罩的料盒
产品特征
不同世代产品对应
不同曝光设备对应如canon hitachi nikon等
结构紧凑、形变量小
外观美观

光罩柜-Stocker
主要用于存放光罩盒
产品特征
不同世代光罩盒对应
不同厂家光罩盒对应
同一设备不同规格同时对应可
手动自动模式对应
存储层、列任意定制

光罩盒搬送台车-MGV
主要用于光罩盒的上料下料搬送等工艺
产品特征
不同世代光罩盒对应
不同厂家光罩盒对应
手动、半自动模式对应
半自动模式完善的互锁安全机能