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卡夹清洗装置

清洗用于搬送ARRAY工序，CELL工序，彩色滤光片工序中使用的玻璃基板的卡夹的装置

可对应梳齿卡夹，Wire卡夹2种

传输带旋转方式更节省空间

可摆动式高压喷淋喷嘴，实现优越的清洗能力

防止2次污染的搬送构造以及卡夹搬送单元

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