Mask Spin清洗装置

彩色滤光片工序：清洗用于曝光的光罩

CELL工序：清洗用于光配向的光罩

触摸屏工序：清洗用于曝光的光罩

可对应光罩尺寸为宽1600mm×长1800mm

可选择Robot搬送类型，Gantry搬送类型2种

可自定义追加各种调合装置

以完善的安全措施减少对光罩的损伤

可对应高处理量的系统设计

可通过抑制药液，纯水，气的使用量减少运行成本

产品外观，构成