显影装置
更新时间：2020-07-03 13:51:39点击次数：818次字号：T|T
显影装置 产品概要 &
相关介绍
显影装置
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产品概要 |
ARRAY工序：（正・负）光致抗蚀剂显影
彩色滤光片工序：（正・负）RBG Color Resist/BM(Black Matrix)/PS(Photo Spacer）
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产品特征 |
可对应玻璃基板最大尺寸：G10 宽2850mm×长3050mm
考虑到显影均一性的工艺设计
可自定义追加各种调合装置
优越的温度控制性能（设定温度±0.5℃）
防止2次污染的搬送构造以及风刀
可对应高处理量的系统设计
可通过抑制药液，纯水，气的使用量减少运行成本
产品外观，构成
