有机EL用Line检查装置 Stealth FP
更新时间：2020-07-03 13:56:48点击次数：957次字号：T|T
有机EL用Line检查装置 Stealth FP 产品概要
相关介绍
有机EL用Line检查装置 Stealth FP
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产品概要 |
有机EL用Line检查装置Stealth FP是，解析有机EL的薄膜不规则，LTPS的评估，光刻（Photolithography）工序的故障等各种缺陷的装置。
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产品特征 |
尤其对广范围的膜厚不均匀，药液残渣或结晶评估效果显著。
从开发阶段到量产的In Line检查，可广范围的使用。
可对应试做阶段的小型基板到G8尺寸等的大型基板的检查。
可对应试做阶段的小型基板到G8尺寸等的大型基板的检查。
规格
| 基板尺寸 | 小型基板~G8尺寸 | ||||||
| 光源 | LED Array | ||||||
| 检查器 | 高感度 Line CCD | ||||||
| 可选项 | CIM，Loader Interface，Pattern识别等 | ||||||
| 缺陷解析功能 | 有机EL膜等的膜厚不规则 | ||||||
| 检测出Phote Resist，基板缺陷 | |||||||
| LTPS结晶性评估等 | |||||||
解析界面
FP
