段差测量（膜厚测量）检查装置FP

搭载了可从0.5mg开始进行设定的超低针压触针式测量Head（Micro HeadⅡ），提高段差测量（膜厚测量）中的稳定性，并且作为用于液晶基板的触针式段差测量装置（膜厚测量装置）拥有世界第1的市场份额。

随着液晶基板的大型化而研发的段差测量装置（膜厚测量装置）FPX类型，对段差测量（膜厚测量）造成影响的震动所采取的对策进行了强化，并且为了能够在整张基板上取得稳定的数据，更改了设备构造。现在这个X类型，可对应最大3200mm尺寸的基板。

我公司发售比以往段差测量装置（膜厚测量装置）FP系列中最小型（FP-20）还要小型化的FP-10，可以以低成本并且省空间的对EL或TN/STN等小型基板进行整张基板的段差测量（膜厚测量）。

独创软件

图形设计

在首页可简单制作Recipe

可对应格式基板的段差测量（薄膜测量）及检查（准备了各种触针，校正用标准块

以便对应格式样品基板的段差测量（膜厚测量）

规格