CELL Gap测量装置 AxoScan/AxoStep
CELL Gap测量装置 AxoScan/AxoStep
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产品概要 |
为测量LCD工程的Cell基板Gap等的设备，Axoxcan和Axostep2种测量方式。这2种测量方式，结合应用穆勒矩阵（Mueller Matrix）的软件分析，可1次同时测量Cell Gap,基板方向，扭转角，倾斜度。
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产品特征 |
AxoScan是偏振光测量装置。使大炮灯（Cannon Lamp）的光穿透Cell基板的测量点，通过分析偏振光状态进行测量。使用于AxoScan的Head是由Axometrics公司自主开发的，特点是可高速/高精度地同时测量多种参数。Spot尺寸是3mm，测量这个Spot内的平均值。AxoStep是以CCD Camera代替AxoScan的Head的测量方式。因使用CCD Camera可进行区域的测量，并且因为可以替换镜头可对应低倍率（8.6mm左右）到高倍率（0.043mm左右）。测量参数与AxoScan一样，但是由于测量区域较广，所以可以对整个Pixel进行分析。
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AxoScan |
| 测量区域 |
3mm（可定制） |
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| 测量时间 |
约1~2.5秒/区域 |
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| 测量参数 |
Cell Gap， |
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| 对应基板 |
G2~G8基板 |
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| 测量再现性 |
Cell Gap/3σ=0.005μm，基板方向，倾斜度，扭转角/3σ=0.1° |
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AxoStep |
| 测量区域 |
8.6mm×6.9mm~0.043mm×0.034mm（通过更换物镜） |
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| 测量时间 |
约15秒 |
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| 测量参数 |
Cell Gap，基板方向，扭转角（上下），倾斜度 |
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| 对应基板 |
G2~G8基板 |
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| 测量再现性 |
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产品外观・构成 |
