FPD用自动膜厚测量装置 NanoSpec6500

在FPD（Flat Panel Display）生产线中，用于测量玻璃基板薄膜的NanoSpec6500系列是，Nanometrics公司历经多年的研发，凝结了光学技术及经验，分析软件，高精度Stage驱动等技术，在全球的主要液晶生产工程有着超过100台的销售业绩。而我司在接受NanoSpec6500系列的业务转让后，并且以我司的技术进一步改进设备后，进行设备的制造，销售以及售后业务。

在拥有高处理能力，高精度，高信頼性的6500系列，追加了搭载光谱椭偏仪（SE）及紫外线（UV）的机型，可对应更广范围的膜厚测量及膜质评估。目前可对应基板尺寸是到G10用基板（2900mm×3100mm）为止的各种基板膜厚测量原理（NanoSpec的膜厚测量是，应用了光的干扰色测量方式的原理。在测量物上垂直照射白光或紫外线，将在膜的上下界面反射的光的干扰光引到光谱Head后，以分析光谱的光的强度计算出膜厚值。另外，光谱椭偏仪可以以广范围波长的入射光和反射光的偏振光变化量，同时计算出多个光学乘数（曲折率n和消衰系数k）和膜厚。）Small Spot测量（为可以测量Pattern化的区域，建议以最小0.75μm的Spot进行测量。0.75μm的Spot还可以对TFT构造的n+/a-Si/SiN/Glass等多层膜进行3层膜的同时膜厚测量（包含n，k值）。）

对应各式基板的膜厚测量・检查

规格