分段后，面取后 清洗装置 偏向板贴付前清洗装置

CELL工序：单板分段后清洗，单板面取后清洗

PANEL工序：分段后清洗，分流后清洗，面取后清洗，研磨后清洗，偏向板贴付前清洗

可对应面板基板最小尺寸：宽40mm×长70mm

可对应玻璃基板最大尺寸：宽1200mm×长1550mm

具备各种面板尺寸的标准装置

可选择各种清洗工具（抛光板，Disk Brush，Roll Brush）

防止2次污染的搬送构造以及风刀

可对应高处理量的系统设计

可通过抑制纯水，气的使用量减少运行成本

可根据面板的尺寸选择自动更换工艺（Recipe）机构

产品外观，构成