FPD三维计测装置 FPM系列

FPD三维测量装置FPM系列是为能够测量使用于手机或高清晰大型显示装置的平板显示的表面形状。它可以测量使用于LCD（液晶显示）或OLED（有机EL显示）的PS，CF，TFT，COA，MEMS等的表面形状。a将Zygo公司卓越的检查Head搭载在我公司的自动装置上，可提供稳定并且高性能的测量装置。

以Zygo公司的白色干扰技术（SWLI）为基础，搭载Zygo公司的计量Head，进一步研究开发检查平板显示的设备。为能够高速且高精度观察表面构造，使用于CF基板和TFT基板CF工程或ODF（One Drop-Fill）工程的工艺参数的改善。并且可以应用于保持构成液晶基板的CF基板和TFT基板2张玻璃之间间隔的Spacer，MVA（Multi-domain Vertical Alignment）中使用的特殊构造物，CF基板的RGB高度的等。

产品外观・构成

1.为能够进行出亚纳米级精密测量，使用了Zygo公司持的傅里叶域分析（FDA：Fourier Domain Analysis)的扫描型白色干扰(SWLI：Scanning white-light interferometry）技术。

2.使用最新Digital Machine Vision技术的高速取得分析数据能力。其结果可减少Sensor Head，由此可改善系统的启动时间。

3.以Zygo公司的测量透明膜表面形状或厚度的膜分析软件，配合先进的FPD装置。